首頁
P

產品中心

Product Center

雙Z軸6軸線軌高精密運動臺

  • 產品介紹
  • 產品特性
  • 技術參數
  • 圖片參考
          六軸精密運動臺,滿足高速度、高加速度、高精度的產品定制需求。適用于玻璃薄片檢測、玻璃切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等高端制造業。

    • X、Y、θ1、θ2、Z1、Z2,直驅電機驅動,保證高速度高加速度和亞微米級精度。XY直線電機驅動,θ1、θ2直驅DD馬達驅動,Z1、Z2直線電機驅動配備平衡氣缸,斷電保護。
    • 最大速度1000mm/s,加速度1g;
    • 旋轉軸重復定位精度1arcsec;
    • XY正交2arcsec;
    • 高精度光柵尺反饋。