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三軸線軌高精密運動臺

三軸精密運動臺,滿足高速定位抖動、高加速、高精度的產品定制需求,適用于生物基因測序、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等高端行業。
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    ? ? ? 三軸精密運動臺,滿足高速定位抖動、高加速、高精度的產品定制需求,適用于生物基因測序、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等高端行業。

    • X、Y、Z工作臺,直線電機驅動;
    • 亞微米級重復定位精度
    • 最大速度1000mm/s,最大加速度2g
    • 超短建立時間,1.5mm步進,建立時間5ms,收斂到50nm
    • X、Y兩軸正交性可達±3.0arcsec
    • 高精度導軌導向,光柵尺編碼反饋