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三軸線軌高精密運動臺

滿足高速高精度產品的定制需求,適用于玻璃薄片檢測、三維成像等。
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    滿足高速高精度產品的定制需求,適用于玻璃薄片檢測、三維成像等。

    • X、Y、Z工作臺,Z軸布置于平臺大理石橫梁;可實現微米級的重復定位和定位精度;
    • XY使用交叉滾珠導軌,低摩擦,高剛性,可實現亞微米級重復定位精度;
    • 最大速度200mm/s,最大加速度0.5g;
    • 單軸直線度可達±2μm,運動平面度可達±3μm;
    • 直線電機驅動,光柵尺編碼反饋。