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三軸龍門高精密線軌運動臺

滿足高速高精度產品的定制需求,適用于激光加工,CCD成像,晶圓檢測等。
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    滿足高速高精度產品的定制需求,適用于激光加工,CCD成像,晶圓檢測等。
    • X、Y、Z工作臺,Z軸布置于平臺大理石橫梁;
    • 龍門結構,橫梁可隨Y軸運動;
    • XY微米級重復定位精度;
    • 最大速度500mm/s,最大加速度1.0g;
    • 單軸直線度可達±1.5μm,運動平面度可達±2.0μm。