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高精密四軸線軌運動平臺

四軸精密度線軌運動臺,滿足高速、高加速、高精度的產品定制需求,適用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等高端制造行業。
  • 產品介紹
  • 產品特性
  • 技術參數
  • 圖片參考
    四軸精密度線軌運動臺,滿足高速、高加速、高精度的產品定制需求,適用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等高端制造行業。
    • X、Y、Z、θ工作臺,直驅電機驅動可實現360°角度旋轉,Z軸布置于平臺大理石橫梁,直線電機驅動垂向運動;配套平衡氣缸支撐,防止斷電掉落;
    • 亞微米級重復定位精度;
    • 最大速度1000mm/s,最大加速度1g;
    • 單軸直線度可達±1.5μm,運動平面度可達±2.0μm;
    • X、Y兩軸正交性可達±2.0μm;
    • 直線電機驅動,光柵尺編碼反饋。