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MSLC高直線度/高精度系列

高直線度/高精度系列 主要面向長行程、大尺寸工件加工,并且需要高精度的場合。
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          主要面向長行程、大尺寸工件加工,并且需要高精度的場合。


    • 高穩定性花崗石基臺
    • 重復定位精度:優于0.5微米
    • 直線度/平面度:優于5微米
    • 承載重量:可達100kg