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高精度線軌運動臺

十字疊層高精度線軌運動臺,滿足高速、高加速、高精度的產品定制需求,適用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等高端制造行業。
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          十字疊層高精度線軌運動臺,滿足高速、高加速、高精度的產品定制需求,適用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等高端制造行業。


    • 工作臺采用十字疊層線軌結構形式,滿足XY兩個自由度的運動;
    • 亞微米級重復定位精度;
    • 最大速度1000mm/s,最大加速度1g;
    • 單軸直線度可達±1.5μm,運動平面度可達±2.0μm;
    • X、Y兩軸正交性可達±2.0μm;
    • 直線電機驅動,光柵尺編碼反饋。